低溫泵真空抽氣系統(tǒng)故障的最基本現(xiàn)象是真空系統(tǒng)中的壓力升高。引起系統(tǒng)壓力升高的原因：一是真空系統(tǒng)的漏氣；二是低溫泵的工作出現(xiàn)故障。

　　真空系統(tǒng)的漏氣可以用氦質(zhì)譜檢漏儀分別對真空容器和低溫泵本身進行檢漏，若發(fā)現(xiàn)不漏氣，則必須按以下情況逐一排除低溫泵的故障。

一、真空容器中壓力升高（二級冷陣的溫度低于20K）

　　可能原因為：

　　1、真空系統(tǒng)或低溫泵本身有漏氣，可以通過a.進行真空系統(tǒng)檢漏；b.檢查安全減壓閥是否復(fù)位；c.對低溫泵機械檢漏來排除。

　　2、被抽容器中存在著He、Ne、H₂ 等不可凝氣體（因吸附板飽和），可以對泵進行再生處理來解決此故障。

　　3、固定二級冷陣的螺釘松動，使吸附抽氣表面溫度高于20 K（一般情況下，此種可能性較小），處理此類故障可以將泵恢復(fù)到常溫后，檢查一、二級冷陣裝配情況。

二、真空容器中壓力升高（低溫表面的溫度低于20K）

　　可能原因為

　　1、二級冷陣的吸附器已吸附飽和，此時需要對泵進行再生。

　　2、抽氣負(fù)載過高，可以通過利用屏蔽或降低輻射表面溫度來解決此類故障。

三、低溫泵二級冷陣的溫度達不到20K，或需很長時間才能達到20K。

　　此類故障的原因一般為：

　　1、制冷機制冷能力變差，解決這類故障的方法a.檢查壓縮機供氣壓力是否正常，如壓力低機械補氣；b.對泵進行再生處理；c.蓄冷器被污染，或一、二級密封環(huán)磨損。

　　2、壓縮機氣壓低，這時就需要對其補氣。

　　3、真空系統(tǒng)或低溫泵本身有漏氣，此時需要a.真空系統(tǒng)進行檢漏；b.泵檢漏、安全閥是否復(fù)位。

　　4、低溫泵內(nèi)部存在較多的He、Ne、H2 等不可凝氣體（分壓較高），這時用干燥N2 氣沖洗或再生即可。

　　5、壓縮機工作不正常，這時需要檢修壓縮機。

四、低溫泵發(fā)出隆隆響聲，這時一般都是50Hz/60Hz 開關(guān)位置錯，只要置開關(guān)于正確位置即可解決此類故障。