歷來,對容積式真空泵(如旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵等)的極限真空度測試都是采用傳統(tǒng)的壓縮式真空計(jì)(即麥克勞真空計(jì))。在我國現(xiàn)行有關(guān)對容積式真空泵性能的測試標(biāo)準(zhǔn)(機(jī)械工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)JB/T 7266294)中也明確地規(guī)定了這一點(diǎn)。

        眾所周知, 壓縮式真空計(jì)的誕生至今已有120年的歷史,由于它是一種頗為有效的、直觀且價廉的絕對式真空度測量儀表, 所以一直使用到現(xiàn)在。然而,它也存在著一個致命的弱點(diǎn),其使用的工作介質(zhì)為汞。汞對于人類健康來說是一種有害有毒物質(zhì)。壓縮式真空計(jì)又是玻璃制品, 操作人員稍有不慎, 極易破碎,汞的外溢給人和環(huán)境帶來嚴(yán)重的公害。因此,世界上發(fā)達(dá)國家早已撇棄用壓縮式真空計(jì)來作工作用真空計(jì)。如德國萊寶公司(LEBOLD) 采用薄膜真空計(jì),日本真空公司(ULVAC)、法國ALCATEL公司等采用電阻真空計(jì)來測量容積式真空泵的性能。

        隨著我國整個工業(yè)水平的提高,人民物質(zhì)生活的富裕, 環(huán)境保護(hù)意識的強(qiáng)化,對于壓縮式真空計(jì)使用的危害性也成為廣大用戶所認(rèn)識, 對于撇棄工作用壓縮式真空計(jì)的呼聲也日益高漲。作為真空科技工作者, 研制一種新穎的能完全替代壓縮式真空度的測試儀器是義不容辭的職責(zé), 并具有十分明顯的社會和經(jīng)濟(jì)效益。

1　裝置原理

        對于容積真空泵性能檢測用的壓縮式真空計(jì),一般而言, 其量程在100～10^-2Pa 范圍, 精度要求在±10% 已足夠。欲替代壓縮式真空計(jì)一定要滿足這一必要條件。除此之外, 按照現(xiàn)行部標(biāo)準(zhǔn)JB/T 7266294 的要求,用作容積真空泵性能檢測用的壓縮式真空計(jì), 由于測量的是永久性氣體分壓強(qiáng), 因此又要求滿足測試永久性氣體分壓強(qiáng)的特定條件。鑒于上述兩個要求, 我們認(rèn)為選擇薄膜真空計(jì)加冷阱的組合裝置不僅是適宜的, 而且也是可取的。裝置的原理圖如圖1所示。

11 被測的容積真空泵　21 閥門　31 冷阱　41 薄膜真空計(jì)規(guī)管 51 薄膜真空計(jì)顯示儀表

圖1　新的檢測裝置原理圖

2　技術(shù)關(guān)鍵

         薄膜式真空計(jì)是利用薄膜片受力產(chǎn)生形變的原理而制成的一種相對式真空計(jì), 也是一種全壓強(qiáng)真空計(jì)。其特點(diǎn)為精度高, 響應(yīng)快、穩(wěn)定可靠、使用方便, 尤其是結(jié)構(gòu)小巧堅(jiān)固, 材質(zhì)耐腐蝕, 且能長期承受過載運(yùn)行, 特別適宜于在惡劣環(huán)境中工作, 在這些方面比之于壓縮式真空計(jì)具有明顯的優(yōu)越性, 也完全避免了使用有毒有害的汞介質(zhì)。然而, 要采用薄膜真空計(jì)替代容積真空泵性能檢測用的壓縮式真空計(jì)必須解決以下三個技術(shù)關(guān)鍵。

          ① 擴(kuò)展現(xiàn)有薄膜真空計(jì)的測量下限。一般而言, 我國現(xiàn)有的薄膜真空計(jì)的下限為0. 1Pa, 為此,必須研制測量下限為0. 02Pa 以下的低量程薄膜真空計(jì)。

         ② 消除水、油等可凝性蒸汽的影響, 使薄膜真空計(jì)測得的應(yīng)與壓縮式真空測量的同樣是永久性氣體的分壓強(qiáng)。

         ③ 薄膜真空計(jì)是一種相對真空計(jì), 由顯示儀表輸出的是電參量, 為此必須解決真空計(jì)的量值校準(zhǔn)問題。

3　試驗(yàn)結(jié)果

         測量下限為0. 02Pa 的薄膜真空計(jì)是新測試裝置的關(guān)鍵, 由于測量下限0. 02Pa 已接近薄膜真空計(jì)能靈敏反應(yīng)的極限值, 且對零位飄移的要求非常苛刻。經(jīng)反復(fù)試驗(yàn), 對所選用的金屬材料進(jìn)行更為嚴(yán)格的穩(wěn)定性技術(shù)處理; 對電子元、器件的篩選及老化提出了全新的保障體系; 對零部件的質(zhì)量檢驗(yàn)和生產(chǎn)環(huán)境要求也作出了詳盡的規(guī)定。更為重要的是摸索出了傳感器敏感元件的壓力對位移變化的特性曲線, 為研制出測量下限為0. 02Pa 的低量程薄膜真空計(jì)奠定了基礎(chǔ)。現(xiàn)在, 該低量程薄膜真空計(jì)的零位飄移可以控制在4h 內(nèi)不偏離1 位數(shù)字(±1mV )。與美國M KS 公司的同類產(chǎn)品進(jìn)行對比試驗(yàn), 數(shù)據(jù)表明在允許的誤差范圍內(nèi)相一致。表1 列出了其中一組比對數(shù)據(jù)。

表1　一組比對數(shù)據(jù)

         眾所周知, 薄膜真空計(jì)是相對真空計(jì), 其壓力絕對值還需經(jīng)過絕對真空計(jì)來標(biāo)定, 對于它的全量程校準(zhǔn)可以由壓縮式真空計(jì)或在膨脹法校準(zhǔn)系統(tǒng)上完成。下面一組數(shù)據(jù)表2 為用金屬真空校準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)的數(shù)據(jù)。校準(zhǔn)誤差為±10%。

表2　一組校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

        用本測試裝置對2XZ22 旋片真空泵的極限真空度進(jìn)行了實(shí)測也表明能夠替代壓縮式真空計(jì)。當(dāng)冷阱未加液氮時, 用薄膜式真空計(jì)測得的結(jié)果要比用壓縮式真空計(jì)高一個量級左右, 而在冷阱中加入液氮后, 經(jīng)過約半小時的穩(wěn)定時間, 其測得的結(jié)果與用壓縮式真空計(jì)測得的結(jié)果在允許的誤差范圍內(nèi)相一致。圖2 為一組用壓縮式真空計(jì)和薄膜真空計(jì)測量2XZ22 旋片式真空泵極限真空度的曲線。