根據(jù)自動機械的動作要求，把若干個噴嘴、擴張管副用串聯(lián)、并聯(lián)的混合方式連接起來，用以實現(xiàn)大排氣量和高真空度的復(fù)合式真空發(fā)生器的結(jié)構(gòu)如圖9 所示。它的真空發(fā)生過程與串聯(lián)式的完全相同。如果在結(jié)構(gòu)上把兩列噴嘴、擴張管副完全隔離開，用分配閥控制向兩列分別供氣、斷氣，這樣復(fù)合式真空發(fā)生器就完全具備大功率、大排氣量、高真空度和高效率的特性，應(yīng)該說是比較理想的真空發(fā)生元件。

圖9：復(fù)合式真空發(fā)生器示意圖

        但是，由于其體積增的羅茨泵和1臺抽速為70L/s的旋片泵組成，由它完成對SFC高、低真空室從大氣到70Pa的粗抽，也要完成對SFc 高真空室單獨抽至10Pa。高真空系統(tǒng)由2臺抽速為1500L/s 的渦輪分子泵和1臺抽速150L/s的羅茨泵機組組成。超高真空系統(tǒng)由2臺抽速為20000L/s的/HIRFL-800低溫泵和1臺抽速10000L/S的低溫泵組成。分子泵與低溫泵共同安裝在一個泵室中，分子泵與低溫泵之間以及泵室與真空室之間分別由直徑為250mm和630mm 的超高真空閥門隔開。從大氣抽至10Pa，大約需要20min。從10Pa到E-3Pa 由高真空系統(tǒng)的分子泵完成，約需要2h。當(dāng)真空度優(yōu)于3e-3Pa 時，低溫泵開始工作。低溫泵工作10h后，在SFC真空室中心平面上可以獲得1.3E-5Pa的真空。

        SFC真空室從安裝到完成測磁工作，歷時6 個多月。真空室長時間暴露于大氣之中，這樣對要想獲得1.3E-5Pa的真空度是較難的。最好的辦法就是烘烤。但由于真空室安裝后，與磁鐵、高頻腔部件、注入引出元件、束診元件等都連接在一起，再加上真空室形狀復(fù)雜，所以用常規(guī)的加熱帶、烘烤燈等方法來加熱，因受條件限制而無法實行。進行分析后，決定采用熱水循環(huán)加熱的方法，對真空室內(nèi)部的線圈、覆面等那些在加速器運行時需要用冷卻水的部件，在抽空時先用熱水循環(huán)，進行烘烤。

        經(jīng)過計算，這部分部件在真空室中的表面積，要占整個真空室內(nèi)表面積的75%。加工了一套熱水循環(huán)系統(tǒng)，考慮到線圈是環(huán)氧澆鑄，水溫應(yīng)控制在80度左右。經(jīng)過10h熱水循環(huán)烘烤后，真空度從10E-5Pa進入到10E-6Pa，證明了這種烘烤方法是可行的。