在簡述真空滲碳及碳氮共滲近況的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)介紹了乙炔真空滲碳及乙炔、氨氣真空碳氮共滲的效果及應(yīng)用。在WZST系列雙室真空滲碳淬火爐滲碳后，滲碳層深度均勻性為±0.05～0.08mm。當(dāng)滲碳深度為0.97～1.08mm時，表面碳濃度為0.84%～0.87%。20CrMo鋼制精密級齒輪真空碳氮共滲后，硬化層深0.15～0.30mm，硬度550HV0.5，齒輪內(nèi)孔直徑變形量≤0.01mm，且無喇叭口。

一、真空滲碳近況

1、丙烷作為滲碳?xì)獾奶攸c(diǎn)

　　丙炳因含有豐富的“C”源，早期真空滲碳一直采用丙烷(C3H8)為滲碳?xì)狻Ｆ涮攸c(diǎn)如下：

　　(1)滲速快，可實(shí)施高溫快速滲碳。

　　(2)滲層組織中無晶界氧化層。

　　(3)使復(fù)雜形狀和不通孔滲碳成為可能。

2、丙烷作為滲碳?xì)獾膯栴}

　　(1)裝爐量增加，滲碳?xì)饬髁吭黾樱瑝毫�加大，炭黑也越�?yán)重。

　　(2)由于炭黑嚴(yán)重，維修頻率加快。

　　(3)為了減輕維修量、頻率，不得不減少裝爐量，導(dǎo)致生產(chǎn)率低下。為此，真空滲碳停留在特殊領(lǐng)域、特殊零件的應(yīng)用，難于推廣和普及。

3、乙炔作為滲碳?xì)獾奶攸c(diǎn)

　　有人用16MnCr5鋼試樣，在1000℃、1×10³Pa時滲碳10min后，經(jīng)2×10⁵Pa氮?dú)庵锌焖倮鋮s。采用4種不同的滲碳?xì)猓杭淄椤⒈�烷、乙烯和乙炔�?6MnCr5鋼用各種碳?xì)浠�合物氣體滲碳后碳濃度的分布曲線示于圖1。從圖1中可看出，甲烷表面碳濃度最低達(dá)0.2%，基本上沒有滲碳能力;乙炔表面碳濃度最高達(dá)1.4%，滲碳能力最強(qiáng);丙烷、乙稀結(jié)果相同，滲碳能力居中，而且相同的滲碳層深，用乙炔滲碳時碳濃度要高0.1%。碳的傳輸能力或稱富化率(g/m²·h)也得到相同的規(guī)律，甲烷2g/m²·h，丙烷和乙稀為120g/m²·h和130g/m²·h，乙炔的碳傳輸最大，接近150g/m²·h。

　　更為重要的是不同滲碳?xì)怏w在真空滲碳時，進(jìn)入小而深的不通孔的滲碳效果。對3mm×90mm的不通孔做試驗(yàn)，900℃、5×10²Pa、10min滲碳，2×10⁵Pa氮?dú)庵锌炖洌�再次加熱�?60℃并在5×10⁵Pa氮?dú)庵写慊稹�圖2是用不同碳化氫氣體滲碳后的試驗(yàn)結(jié)果。從結(jié)果可以明顯看出，丙烷及乙稀滲碳能力只能使不通孔深6mm處滲碳淬硬，>6mm處均未被滲上。而用乙炔進(jìn)行滲碳，沿著孔的深度直至不通孔的底部90mm全部滲上了碳，顯然乙炔比丙烷或乙稀具有明顯的、更強(qiáng)的滲碳能力。乙炔的應(yīng)用使真空滲碳技術(shù)的發(fā)展進(jìn)入了新的階段，生產(chǎn)中炭黑的產(chǎn)生明顯減少，維修周期拉長，效率提高，裝爐量逐漸加大到300～700kg/爐。

4、飽和值調(diào)整法

　　圖3是表示在相圖上的真空滲碳工藝及飽和值調(diào)整法。氣體滲碳是對滲碳?xì)夥盏奶紕葸M(jìn)行控制。真空滲碳是利用調(diào)整達(dá)到碳的固溶極限的滲碳時間，以及停止供滲碳?xì)夂蟮臄U(kuò)散時間，來控制滲碳層的方法，這就是所謂的“飽和值調(diào)整法”。

　　在試驗(yàn)確定了滲碳?xì)饬髁俊�壓力的基礎(chǔ)上，設(shè)定好時間參數(shù)，用自動控制的方法可以方便地確保生產(chǎn)質(zhì)量的再現(xiàn)性。

二、真空滲碳均勻性

　　表1、表2是系列雙室真空滲碳爐某些爐型均勻性測試結(jié)果。測量點(diǎn)和國標(biāo)規(guī)定的溫度均勻性5點(diǎn)測溫的位置一致。據(jù)這些表中數(shù)據(jù)來看，滲層深度±0.08mm，碳濃度±0.05%。

三、真空滲碳的應(yīng)用

1、齒輪類零件的應(yīng)用

　　圖4為20CrMo齒輪類零件真空滲碳后外觀，滲層深度分別是0.38mm、0.64mm。表3是變形和硬度情況。

　　圖4所示各類齒輪精度等級為JB179-60、8DC級，熱處理后不再研磨加工，直接裝配，因此變形量要盡可能小。變形大時，因電動機(jī)轉(zhuǎn)速高(1450r/min)會使噪聲增大，甚至?xí)�使裝配無法進(jìn)行(因內(nèi)漸開線花鍵孔無法再加工)。從表4可知，各齒輪件變形量可控制在0.05mm以內(nèi)。

2、不銹鋼滲碳

　　為了給耐蝕性優(yōu)良的不銹鋼附加高的耐磨性，可不受設(shè)備條件限制用真空滲碳的方法實(shí)現(xiàn)。圖5是0Cr18Ni9經(jīng)1050℃、50min滲碳后的組織，層深0.2mm，硬度可達(dá)700～800HV。

3、模具的真空滲碳

　　為進(jìn)一步增加Cr12MoV鋼制模具表面層碳化物含量，以提高耐磨性能，可用真空滲碳的方法在高溫高碳勢條件下，實(shí)現(xiàn)高濃度滲碳。

四、真空碳氮共滲

1、碳氮共滲技術(shù)的進(jìn)展

　　氣體碳氮共滲是在20世紀(jì)60年代被大量研究，70年代得到廣泛使用的一項(xiàng)傳統(tǒng)熱處理技術(shù)。該技術(shù)由于氮的滲入使鋼的臨界點(diǎn)(A1、A3)下移，可以適當(dāng)降低淬火溫度，提供了進(jìn)一步減少淬火變形的可能。氮的滲入還使淬透性增加，所以除合金鋼外，碳素鋼也可以實(shí)施碳氮共滲及油淬處理，從而提高硬度和表面耐磨性,這兩個特點(diǎn)也正是該技術(shù)被廣泛應(yīng)用的原因。該技術(shù)使用的滲劑有：①氨氣+煤油。②吸熱式氣氛+富化氣+氨氣。③氮基氣氛+甲醇+丙烷+氨氣等。共滲機(jī)理:無論哪種滲劑中都有含氧介質(zhì)，C、N同時滲入金屬,金屬表面的化學(xué)反應(yīng)、C和N向金屬內(nèi)部的擴(kuò)散是平衡式，從共滲結(jié)果看，滲層組織有晶界氧化層。

　　20世紀(jì)末到本世紀(jì)初以來，出現(xiàn)了一種預(yù)抽真空式碳氮共滲技術(shù)。從C、N來源和使用滲劑方法來看，共滲機(jī)理、結(jié)果和氣體碳氮共滲是一樣的，滲劑中仍有含氧介質(zhì)。滲層組織中仍有表面晶界氧化層，并無法杜絕。不過此法由于使用了真空排氣和密封技術(shù)，不僅工藝過程縮短，效率提高，滲劑使用量略有減少，而且晶界氧化層深度也有所減輕。據(jù)有關(guān)資料介紹可減少50%。

　　本世紀(jì)以來，H.Altena和F.Schrank介紹了往真空爐中通入丙烷、氨氣的新技術(shù)來提高合金鋼和非合金鋼的表面硬度，借助真空中工藝過程的控制來影響金屬表層碳、氮濃度及滲層的深度，說明了碳、氮滲入的過程和影響因素，報道了關(guān)于設(shè)備的構(gòu)想。2004年日本專利公開，該專利提到的新技術(shù)特征：在真空爐內(nèi)，工件被加熱至滲碳溫度，通入滲碳?xì)怏w進(jìn)行滲碳、擴(kuò)散，然后降低溫度，再向真空狀態(tài)的爐內(nèi)通入滲氮?dú)怏w，進(jìn)行滲氮。碳鋼或表面硬化鋼用這種新技術(shù)都可以得到要求的表面硬度、層深和韌性。該專利曾有應(yīng)用于汽車零件批量生產(chǎn)的報道。

2、真空碳氮共滲的特點(diǎn)

　　在真空(低壓)碳氮共滲的滲劑(碳?xì)浠�合�?氨氣)中沒有含氧介質(zhì)，金屬表面的化學(xué)反應(yīng)是在100～3000Pa的真空狀態(tài)下單向的分解反應(yīng)，其中C和N的滲入是同時，或是C先、N后，說法不一。但在碳氮共滲過程中，一旦停止氣源供應(yīng)，表層的C繼續(xù)向金屬內(nèi)部擴(kuò)散，呈現(xiàn)非平衡態(tài);而N則從金屬表面溢出，呈現(xiàn)平衡態(tài)，或者說此時已滲入金屬的N同時向金屬內(nèi)部和表面兩個方向擴(kuò)散，這些特點(diǎn)對工藝有重要影響。真空碳氮共滲除保留氣體碳氮共滲特點(diǎn)外，滲劑氣體中無含氧介質(zhì)，滲層組織中可以杜絕晶界氧化層，共滲壓力低，使用的滲劑氣體量少，廢氣排放量也大幅度減少。

五、真空碳氮共滲技術(shù)的應(yīng)用

1、應(yīng)用對象

　　適合使用的材質(zhì)：可用于低碳合金鋼(包括合金結(jié)構(gòu)鋼、合金滲碳鋼)，也能用于廣泛使用的碳素鋼及粉末冶金鋼。對載荷大的零件建議使用中碳鋼、Cr鋼、Ni-Cr鋼、Ni-Cr-Mo鋼等。適用于要求耐磨性、疲勞強(qiáng)度為主的零件，如各種齒輪、軸、墊圈(片)、軸襯(套)齒圈(盤)、油泵油嘴、滾柱、軸承蓋、鏈輪(條)、離合器、閘閥、銷釘、螺釘(母、桿)等。

2、應(yīng)用實(shí)例

　　名稱：精密級齒輪(5級);材質(zhì)：20CrMo。技術(shù)要求：硬化層深0.15～0.30mm;硬度(550±50)HV;內(nèi)孔變形：≤0.01mm，不能形成喇叭口。

　　精密齒輪經(jīng)真空碳氮共滲熱處理后測量，滲層0.18～0.20mm，淬火硬度728～731HV，符合技術(shù)要求。表5列出了內(nèi)孔測點(diǎn)1(下端)、測點(diǎn)2(上端)，見齒輪剖面圖(見圖7)，熱處理前后內(nèi)徑測量值及變形量。同一個齒輪的測點(diǎn)1和測點(diǎn)2變形量差值≥0.01mm時，則該齒輪內(nèi)孔呈喇叭口，為報廢品;反之則為合格品。所以從表1喇叭口一項(xiàng)可見，所測12件齒輪均為合格品。這足以說明真空碳氮共滲熱處理變形小的優(yōu)越性。

3、真空碳氮共滲的技術(shù)裝備及選型

　　真空碳氮共滲后的冷卻可采用油冷。油冷時，表6列出了系列雙室真空滲碳及碳氮共滲油淬氣冷爐的各種類型，可根據(jù)表6中加熱區(qū)尺寸和裝爐重量等選擇你所需要的型號。圖8是真空碳氮共滲設(shè)備及油淬后工件表面的狀況。

六、結(jié)語

　　乙炔真空滲碳的應(yīng)用，使真空滲碳技術(shù)的發(fā)展進(jìn)入了新的階段，生產(chǎn)中炭黑明顯減少，維修周期拉長，裝爐量增大，生產(chǎn)效率提高。與氣體碳氮共滲相比，真空碳氮共滲完全無氧的介入，滲層組織無晶介氧化層，適用于普通碳素鋼、合金鋼、粉末冶金件，熱處理變形比滲碳小，精度高。對機(jī)械行業(yè)量大面廣的基礎(chǔ)零部件，其使用壽命提高，節(jié)約國家資源，意義重大。真空碳氮共滲新技術(shù)需要的滲劑氣體少、廢氣的排放也大幅度地降低，既節(jié)約氣體、又清潔環(huán)保，有望能得到廣泛的應(yīng)用。