下圖為典型的小型濺射離子泵無油超高真空抽氣系統(tǒng)。

1.濺射離子泵　2.鈦升華泵　3.高真空閥　4.真空室　5.粗抽閥　6.分子篩吸附泵　7.管道閥

圖 典型小型濺射離子泵超高真空系統(tǒng)

　　系統(tǒng)的操作工藝如下：啟動（冷卻）吸附泵；如果粗抽是用兩級分子篩吸附泵，則先冷卻啟動第一級吸附泵，同時給鈦升華泵通冷卻水。用第一級泵將系統(tǒng)粗抽到1000 Pa 左右，然后快速關(guān)閉將第一級吸附泵與粗抽管路隔斷，再用第二級泵將系統(tǒng)抽到0.4 到0.2 Pa。如果采用三級吸附泵粗抽時，則可用第一級泵抽到3000 到5000 Pa的壓力，用第二級泵抽到15 Pa 壓力，第三級泵抽到0.1 Pa。分級抽氣可捕集在粘滯流狀態(tài)下進(jìn)入第一級中的惰性氣體，同時也可減少最后一級抽除的氣體量。這兩者的效果都是降低系統(tǒng)的極限壓力。

　　如果系統(tǒng)中有鈦升華泵，則在真空室壓力約為0.5 Pa 時就可以啟動升華泵，開始連續(xù)升華，打開高真空閥門對真空室抽氣，當(dāng)真空室壓力達(dá)到0.1～0.05 Pa 時便可啟動濺射離子泵，然后關(guān)閉粗抽閥門，將粗抽管道與系統(tǒng)隔開。當(dāng)系統(tǒng)壓力低于10^-5 Pa 時，則可讓鈦升華泵間斷工作，隨著系統(tǒng)壓力的下降，蒸鈦的間隔時間可以一次比一次加長�？墒褂枚〞r電路來控制鈦升華時間和升華的間隔時間。

　　如果在系統(tǒng)運(yùn)行前，濺射離子泵曾暴露過大氣，則系統(tǒng)的操作順序是先冷卻吸附泵，并接通鈦升華泵的冷卻水，同時打開高真空閥和粗抽閥，按前面介紹過的順序，用吸附泵和鈦升華泵對系統(tǒng)進(jìn)行粗抽。當(dāng)接通濺射離子泵電源時，由于泵內(nèi)電極的出氣，系統(tǒng)的壓力將會升高，所以此時仍需用吸附泵和鈦升華泵進(jìn)行抽氣，直到把放出的氣體負(fù)荷抽完為止。當(dāng)系統(tǒng)壓力穩(wěn)定在0.1 Pa 左右時，即可關(guān)閉粗抽管路閥門，進(jìn)而按正常方式連續(xù)工作。

　　離子泵系統(tǒng)停機(jī)前，先將高真空閥關(guān)閉，再把離子泵電源關(guān)掉，整個系統(tǒng)可保持在真空狀態(tài)下，直到下次再用。

操作注意事項

　　（1） 濺射離子泵應(yīng)在低于10^-4 Pa 的壓力下穩(wěn)態(tài)運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　（2） 不要在系統(tǒng)壓力高于10^-1 Pa 時啟動濺射離子泵。

　　（3）不要讓離子泵在較高壓力下抽除大量氦氣。

　�。�4）真空室放大氣時，應(yīng)用閥門將濺射離子泵隔斷。

　�。�5）應(yīng)按正確順序操作吸附泵。