微型離子泵抽速測試結果

        按照上文所述方法,用A1型磁鋼,并用配套電源進行測試。用高純氮氣為抽速測試氣體。每個數量級測量三個穩定點。

圖3 　微型濺射離子泵抽速曲線

         圖3是微型濺射離子泵測試結果:離子泵對N2抽速≥013L/s。根據二極型濺射離子泵對不同氣體抽速的經驗比值可知,濺射離子泵對N2抽速為對干燥空氣抽速的85%。

         圖4 是美國Varian公司提供的微型濺射離子泵重量與抽速的關系曲線,可以看出:Varian公司生產的重量為300g的濺射離子泵抽速是0135L/s。

圖4 　Varian 公司微型濺射離子泵抽速與重量的關系

          作者研制的新型微型濺射離子泵重量≤150g,實際測試抽速≥013L/s。

兩種不同磁場下的抽速性能比較

        為了提高微型濺射離子泵的性能,設計了多種磁場源。圖5是其中兩種磁場源磁場強度的空間分布;圖6 是小離子泵分別工作在兩種磁場源下的抽速曲線圖。

圖5 　兩種磁場源磁場強度分布圖

圖6 　兩種磁場源離子泵抽速曲線