鈦升華泵的極限壓強(qiáng)與抽速
2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
1、鈦升華泵的極限壓強(qiáng)：可達(dá)10-10Pa。
2、鈦升華泵的抽速：鈦升華泵的抽速較大，新鮮鈦膜在液氮溫度下，對氮的抽速可達(dá)10.1L/cm2·s，對氫的抽速可達(dá)19.9L/cm2·s。鈦升華泵的抽速受很多因素影響，升華速率是決定其抽速的主要因素之一。若吸氣面足夠大，在一定壓強(qiáng)范圍內(nèi)，升華速率高，則泵的抽速大。當(dāng)然膜沉積速率與排氣量要相稱，否則第一層鈦膜吸氣尚未飽和，第二層又覆蓋上去，即使升華率高，抽速也增大不了多少。
為了維持恒定的抽速，減少鈦的消耗，需要對升華速率進(jìn)行調(diào)節(jié)。當(dāng)真空度高時(shí)要把升華速率降低。吸氣面也是決定泵性能的重要因素之一。吸氣面越大，泵的抽速越大。但泵口流導(dǎo)限制了泵的抽速。對室溫下空氣，泵口最大流導(dǎo)是11.7L/cm2·s。鈦升華泵的抽速
可用下式估算：
鈦升華泵抽速計(jì)算公式
式中σ是吸氣面的最大粘著系數(shù);A為吸氣面面積(cm2);K為瀉流系數(shù)(L/cm2·s)，T為氣體絕對溫度，M為氣體摩爾質(zhì)量;B為1個(gè)氣體分子需要和幾個(gè)鈦原子結(jié)合，B = 1～2;G是1Pa·L氣體的分子數(shù)(G = 7.2×1019·1/T);P為壓強(qiáng)(Pa);R是1杪種內(nèi)供給吸氣面的鈦原子數(shù)(升華速率為1g/h時(shí)，為3.5×1018個(gè)/s)。
