滑閥式油封機(jī)械泵(簡稱滑閥式真空泵或滑閥泵)同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。

　　滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級(jí)滑閥泵和雙級(jí)滑閥泵兩種型式。單級(jí)泵的極限真空度對(duì)小泵≤0.6Pa，對(duì)大泵≤1.3Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn))，雙級(jí)泵的極限真空度≤0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級(jí)型式。這種泵可單獨(dú)使用，也可作其它泵的前級(jí)泵用。

　　滑閥泵的結(jié)構(gòu)主要由泵體及在其內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成(見圖1)。

滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)原理圖

　　泵體中裝有滑閥環(huán)(4)，滑閥環(huán)內(nèi)裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環(huán)上裝有長方形的滑閥桿(5)，它能在半圓形滑閥導(dǎo)軌(7)中上下滑動(dòng)及左右擺動(dòng)，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，由于A、B兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔;同時(shí)，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過排氣閥排出泵外。

滑閥式真空泵的工作原理

　　雙級(jí)型的滑閥泵，實(shí)際上是由兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個(gè)整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。

　　由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因此很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質(zhì)量平衡，減少泵的振動(dòng)一直是滑閥泵需要解決的一個(gè)重要課題。