油擴散泵的工作原理與結構

2020-05-03 真空技術網 真空技術網整理

1、概述

　　油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的，故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。

　　不同點是擴散泵工作在高真空區域，其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業部門中。

2、油擴散泵的工作原理與結構

油擴散泵結構示意圖

圖3：油擴散泵結構示意圖

　　圖3是擴散泵的結構示意圖。當油蒸汽從傘形噴咀(如I級噴咀)以超音速噴出后，其速度逐漸增大，壓力及密度逐漸降低，射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽射流中擴散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B，在B處，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油鍋中循環使用，而被抽氣體在B處堆積、壓縮，最后被下級射流攜帶走，以達到逐級壓縮，最后被前級泵抽走。其抽速特性曲線如圖4所示。

油擴散泵抽氣速率與入口壓力的關系曲線

圖4：油擴散泵抽氣速率與入口壓力的關系曲線

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