真空區域的幾種劃分
有了量度真空度的單位,就可以定量地表示真空度的高低。但是,目前真空技術所涉及的壓力范圍已寬達20個數量級,為了使用方便,有時只需要粗略指出真空度的大致范圍,通常定性地把真空粗略劃分幾個區域。劃分區域的依據主要考慮真空狀態下氣體分子運動的物理特性、真空泵和真空計的有效工作范圍等。
我國關于真空區域的劃分,《真空技術名詞術語(GB3163-1982)》中規定如下:
真空理論工作者推薦的真空區域劃分如下:
粗真空、低真空和高真空是依氣體分子平均自由程與容器特征尺寸d相比的值來劃分的。真空技術網(http://203scouts.com/)認為主要考慮:是氣體分子之間的相互碰撞還是氣體分子與器壁的相互碰撞對所出現的物理現象起決定性作用。
將高真空和超高真空的界限定為10-6 Pa,主要是考慮真空物理吸附機制只有在壓力 p<10-6 Pa時才開始明顯,才可由擴散泵抽氣獲得,由B-A計進行壓力測量。至于超高真空與極高真空的劃分界限在10-12 Pa,是因為p<10-12 Pa時,出現統計漲落(大于5×10-2 )。
上述的真空區域劃分,各區域均表示一個壓力范圍,原因是目前仍以壓力表示真空度。但是,在低真空、高真空、超高真空和極高真空中,真空技術網(http://203scouts.com/)認為所說的壓力是有著本質差別的,壓力只是其他量的相對指示。
各個區域的真空物理特性、所用的真空泵和真空計詳見表。國外關于真空區域劃分也不一致,隨著真空技術的發展,真空區域劃分亦有變化。
表 真空區間物理特點和典型真空泵、真空計