磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)工作原理圖
根據(jù)磁懸浮轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速的衰減與其周?chē)鷼怏w分子的外摩擦有關(guān)的原理制成的真空測(cè)量?jī)x表稱(chēng)為磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。
圖22：磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)結(jié)構(gòu)圖
由圖22可見(jiàn)，除了用于磁懸浮轉(zhuǎn)子的螺旋線圈2外，在真空室下邊還設(shè)置一敏感線圈5，通過(guò)伺服電路控制螺旋線圈2的電流，使轉(zhuǎn)子懸浮在預(yù)定高度。在真空室兩側(cè)的一對(duì)驅(qū)動(dòng)線圈3產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子以每秒200～400轉(zhuǎn)的速度自轉(zhuǎn)。雖然轉(zhuǎn)子在給定的垂直位置會(huì)自動(dòng)地趨向磁場(chǎng)最強(qiáng)處(一般在垂直對(duì)稱(chēng)軸上)，但若受外界擾動(dòng)，轉(zhuǎn)子將圍繞軸作水平振動(dòng)。圖中緊臨真空室下方的阻尼鋼針6可使這種振動(dòng)衰減。
這種真空計(jì)是基于氣體分子對(duì)自由旋轉(zhuǎn)鋼球的減速作用而工作的。當(dāng)鋼球被驅(qū)動(dòng)線圈的磁場(chǎng)從靜止加速到每秒400轉(zhuǎn)速之后，停止驅(qū)動(dòng)場(chǎng)，由于氣體分子摩擦的積分作用引起鋼球自轉(zhuǎn)速度衰減，其轉(zhuǎn)速衰減與氣體壓力p有著嚴(yán)格的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)是標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)，量程寬(10-1～10-5Pa)，用它作互校傳遞標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，累積誤差小，可靠性重復(fù)性好。
