按真空計(jì)測(cè)量原理分類，可以分成直接測(cè)量真空計(jì)和間接測(cè)量真空計(jì)。

　　直接測(cè)量真空計(jì)系直接測(cè)量單位面積上的力，屬于這類真空計(jì)的有：

　　1、靜態(tài)液位真空計(jì)

　　利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。

　　2、彈性元件真空計(jì)

　　利用與真空相連的容器表面上受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。

　　壓力為10^-1 Pa時(shí)，作用在1cm²表面上的力只有10^-5 N，顯然測(cè)量這樣小的力是困難的，但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測(cè)量壓力的變化。

　　屬于間接測(cè)量真空計(jì)的有：

　　1、壓縮式真空計(jì)

　　其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測(cè)壓力的氣體，經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增大，以便用U型管真空計(jì)測(cè)量，然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。

　　2、熱傳導(dǎo)真空計(jì)

　　利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。

　　3、熱輻射真空計(jì)

　　利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。

　　4、電離真空計(jì)

　　利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨壓力變化的原理。如熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。

　　5、放電管指示器

　　利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測(cè)量。

　　6、粘滯真空計(jì)

　　利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計(jì)和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。

　　7、場(chǎng)致顯微儀

　　以吸附和解吸時(shí)間與壓力的關(guān)系計(jì)算壓力。

　　8、分壓力真空計(jì)

　　利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測(cè)量。常用的有四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜計(jì)等。