真空計(jì)量的最新進(jìn)展

　　李得天

　　(中國航天科技集團(tuán)公司五院510 所)

　　摘要：介紹了在真空計(jì)量研究領(lǐng)域取得的最新進(jìn)展。提出了非蒸散型吸氣劑技術(shù)消除器壁放氣影響來延伸靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)下限的方法，為靜態(tài)膨脹法的研究提供了另一條思路。

　　以惰性氣體作為校準(zhǔn)氣體時(shí)，非蒸散型吸氣劑既維持了校準(zhǔn)室中的高真空本底，又不改變校準(zhǔn)室內(nèi)惰性氣體的氣體量，從而保證氣體靜態(tài)膨脹時(shí)玻-馬定律嚴(yán)格成立，使標(biāo)準(zhǔn)壓力能夠準(zhǔn)確計(jì)算，將校準(zhǔn)下限延伸到了10^-7 Pa量級的超高真空范圍。

　　提出了分流法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的新方法。分流法是將氣體微流量計(jì)提供的氣體流量引入到一個(gè)分流室，再通過分流室上的兩個(gè)分子流導(dǎo)相差較大的小孔分流，只有極小部分的氣體流量被分流到極高真空校準(zhǔn)室中，從而產(chǎn)生了10^-10 Pa的動(dòng)態(tài)平衡壓力。提出了固定流導(dǎo)法測量極小氣體流量的新方法，并成功應(yīng)用于極小漏率真空漏孔的精確校準(zhǔn)之中，從而避免了四極質(zhì)譜計(jì)的非線性影響。