摘　要：采用磁過濾直流電弧離子鍍法在不同的CH4分壓下制備了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相組成和微結(jié)構(gòu),用MCMS-1摩擦磨損測試儀,研究了不同CH4分壓對薄膜摩擦性能的影響,采用DURAMIN-10型丹麥全自動顯微硬度儀,研究不同CH4分壓對薄膜硬度的影響.結(jié)果表明,不同CH4分壓對薄膜的相組成、微結(jié)構(gòu)和力學性能均有明顯的影響,高的CH4分壓下,薄膜的摩擦系數(shù)較低,CH4分壓提高到0.15 Pa左右,薄膜內(nèi)形成晶粒細小的單相TiC,進一步提高CH4分壓,薄膜呈現(xiàn)非晶態(tài).

　　關(guān)鍵詞：TiC薄膜;脈沖真空電弧離子鍍;微結(jié)構(gòu);力學性能

　　分類號：O484.4　文獻標識碼：A

　　文章編號：1672-7126(2008)增刊-056-04

Growth and Mechanical Properties of TiC Coatings

Shao Xiao　 Zhu Chang　 Liang Haifeng