真空鍍膜機膜厚監(jiān)控的方法

2008-10-27 admin 真空技術(shù)網(wǎng)整理

真空鍍膜機的操作系統(tǒng)中,最關(guān)鍵最直接的部份首推膜厚監(jiān)控系統(tǒng)。而當(dāng)今各廠家所使用的鍍膜機監(jiān)控系統(tǒng)據(jù)吾個人所知,不外以下三種;

一、微電腦數(shù)控式:利用微電腦設(shè)定來控制膜料的輸出功率與輸出量。此方法操作起來最為簡捷明了所鍍的膜厚也最為均勻。缺點:無法測得真實的膜厚記錄,故此方法一般僅用于濺鍍機。

二,水晶振動子式:一般采用二個或更多(以備不測),用此方法所測得結(jié)果較準(zhǔn)確。但因其本身非常敏感,故極易受外界因素影響。

三,光電式:一般采用藍光玻璃。因其本身一塊即可分成幾部份使用,故一般只備用一個玻璃槽即可。用此方法測得結(jié)果較為穩(wěn)定。

不過現(xiàn)在好象又有一種新的監(jiān)控系統(tǒng),是利用數(shù)控與光電相結(jié)合式的,相信其會給我們帶來更為準(zhǔn)確便捷直觀的一種新的革命。